對于較小空間如家庭房間，若采用小型臭氧發生器進行偶爾消毒，每次成本可能在幾十元左右，這主要是設備用電及臭氧消耗等成本而商業場所或較大空間，如倉庫車間等，消毒費用會明顯增加一方面設備功率大購置成本高，另一方面消毒時間長臭氧消耗量大如果是長期定期消毒，通過租賃設備可能會在一定程度。